3月19日，中微公司董事长、总经理尹志尧3月19日在2023年度业绩说明会上表示，中微公司绝大部分刻蚀设备的零部件已实现国产化，而且在很短的时间内，将全面实现自主可控的基础。
中微公司尹志尧：绝大部分刻蚀设备的零部件已实现国产化
来源：界面新闻
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